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微晶玻璃製作工藝介紹

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廣州尊龙d88玻璃

時間 : 2018-03-20 14:31 瀏覽量 : 103

    微晶玻璃廠家關於微晶玻璃製作工藝介紹



    微晶玻璃生產製作流程十分簡單,其處理方式和石材類似,致使微晶玻璃性能和石材性能類似的原因主要是微晶玻璃製作工藝和石材的製作工藝類似,其既具備著石材的特性,同時又能夠具備著玻璃的效果,所以在人們的認知中經常被稱為“玻璃水晶”,也屬於人造石材的一種。


微晶玻璃


    微晶玻璃製作工藝研究



    1、研磨拋光實驗設置



    1.1、微晶玻璃製作工藝之研磨拋光



    研磨拋光試驗在PHL-350型平麵高速研磨拋光係統上進行,為了提高研磨盤的平麵度,減小行為誤差,通常在加工之前將研磨盤兩兩互研,並用刀口尺檢查研磨盤的平麵度,以保證被加工工件的表麵質量。



    1.2、微晶玻璃製作工藝之拋光墊



    拋光墊在CMP過程中具有貯存拋光液並把它們運送到工件的整個加工區域、維持拋光所需的機械和化學環境、傳遞材料去除所需的機械載荷等作用[1]。因此,本文采用粒度為W14的金剛石親水性FAP作為拋光墊,以實現高效高質低成本的CMP加工具有重要的意義。



    1.3、微晶玻璃製作工藝之研磨拋光液



    采用去離子水和其它化學添加劑作為拋光液,省去了傳統遊離磨料拋光中拋光漿料和懸浮微粒的處理以及pH值的變化造成磨粒性能不穩定及沉澱等問題,簡化了傳統遊離磨料拋光中拋光廢液的處理,具有綠色環保的特點[2]。本實驗中所使用的拋光液僅為去離子水。



    2、壓力P、轉速ω1、偏心距e的變化對工件表麵質量的影響



    2.1、微晶玻璃表麵質量



    被加工工件表麵質量是作為評價FAP加工性能的另一重要指標,包括工件三維輪廓表麵粗糙度Sa,Ra和工件的平麵度。其中,三維輪廓表麵粗糙度Sa,Ra和局部平麵度PV由ADEMicroXAM係統測得,測量的範圍為868μm×646μm,掃麵深度50nm,放大倍數為5×2.0。



    2.2、微晶玻璃壓力P的變化對Sa,Ra的影響



    分別選取壓力P為0.05Mpa,0.075Mpa,0.1Mpa,其他參數如下:ω1=150rpm,e=70mm,對微晶玻璃片進行研磨,每片的研磨時間為10min。研磨前後用酒精清洗表麵,烘幹後分別在工件中間、中部、邊緣3個位置取2個測量點測量其Sa和Ra,取平均值,計算標準差,分析3種壓力下研磨加工微晶玻璃不同位置處的表麵粗糙度對比結果,可以看出:1)壓力的變化會影響微晶玻璃研磨的粗糙度,過高的壓力不利於研磨拋光微晶玻璃表麵質量的提高。2)微晶玻璃加工後的粗糙度邊緣位置要優於中部和中間位置,利用固結磨料加工微晶玻璃時壓力不應過高。



    2.3、轉速ω1的變化對Sa,Ra的影響



    分別選取轉速ω1為100rpm,150rpm,200rpm,其他加工參數如下:P=0.075Mpa,e=70mm,對微晶玻璃片進行研磨,每片的研磨時間為10min。研磨前後用酒精清洗表麵,烘幹後分別在工件中間、中部、邊緣3個位置取2個測量點測量其Sa和Ra,取平均值,計算標準差,分析3種轉速下研磨加工微晶玻璃不同位置處的表麵粗糙度對比結果,可以看出:1)轉速對微晶玻璃粗糙度值的影響呈現正態分布,轉速適當提高有利於穩定微晶玻璃粗糙度值。2)微晶玻璃加工後的粗糙度邊緣位置要明顯優於中部和中間位置。



    2.4、偏心距e的變化對Sa,Ra的影響



    分別選取偏心距e為50mm,70mm,90mm,其他加工參數如下:P=0.075Mpa,ω1=150rpm,對微晶玻璃片進行研磨,每片的研磨時間為10min。研磨前後用酒精清洗表麵,烘幹後分別在工件中間、中部、邊緣3個位置取2個測量點測量其Sa和Ra,取平均值,計算標準差,分析3種偏心距下研磨加工微晶玻璃不同位置處的表麵粗糙度對比結果,可以看出:1)偏心距增大,研磨速度增加,可以獲得更高的表麵精度。2)邊緣部位的表麵粗糙度較中間和中部更低。



    2.5、工藝參數對表麵質量的影響分析



    綜合上述對比結果可知,用固結磨料研磨加工微晶玻璃可以獲得優於傳統加工方式的表麵質量。而從不同壓力、轉速、偏心距下研磨微晶玻璃所獲得的Sa,Ra和Pv值的對比分析可知,根據加工的要求合理選擇壓力、轉速、偏心距等主要工藝參數。



    微晶玻璃研磨加工後的表麵形貌



    微晶玻璃在工具顯微鏡1500倍率觀察下的經過固結磨料研磨加工後的微晶玻璃表麵形貌,從中可以看出其研磨後的表麵幾乎全是無規則的點坑,卻沒有劃痕,這說明微晶玻璃在研磨過程中材料的去除方式主要是脆性去除,而不是塑性去除,從而也說明了微晶玻璃屬於脆硬材料,其結構屬於多晶體,因此采用固結磨料研磨加工的方式非常適合,一般這種經過研磨加工的可以用於建築微晶玻璃


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